3D轮廓仪台阶仪粗糙度仪国产总代核心部件进口
Nano-2000 系列 3D 光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光 垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗 糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域
产品优势
美国硅谷研发的核心技术和系统软件
关键硬件采用美国、德国、日本等品牌 PI 纳米移动平台及控制系统 Nikon 干涉物镜 NI 信号控制板和 Labview64 控制软件 TMC 光学隔振台
测量准确度重复性达到世界水平（中国计量科学研究院证书）
规格书：
测量模式 移相干涉（PSI），白光垂直扫描干涉（VSI），单色光垂直扫描干涉（CSI）
样 品 台 150mm/200mm/300mm 样品台（可选配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，倾斜：±5° 可选手动/电动样品台
CCD 相机像素 标配：1280×960
视场范围 560×750um（10×物镜） 具体视场范围取决于所配物镜及 CCD 相机
光学系统 同轴照明无限远干涉成像系统
光 源 LED
Z 方向聚焦 80mm 手动聚焦（可选电动聚焦）
Z 方向扫描范围 精密 PZT 扫描(可选择高精密机械扫描，拓展达 10mm )
纵向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重复性* 0.005nm，1σ
台阶测量** 准确度 ≤0.75％；重复性 ≤0.1%，1σ
横向分辨率 ≥0.35um（100 倍物镜）
检测速度 ≤ 35um/sec , 与所选的 CCD 和扫描模式有关</a>
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