气体质量流量计.高精密控制/计量.客户定制配比器
郑州科探仪器设备有限公司
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气体质量流量计.高精密控制/计量.客户定制配比器用途：
气体质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制，除测量外还可以精密控制气体的质量流量，质量流量计（MFM）可以精密测量气体的质量流量。
特点
1、数字化，全金属密封；2、，快响应； 3、极低零漂及温漂； 4、良好的兼容性。
核心技术指标
1、数字模拟信号兼容；2、精度:±1.0% S.P. （≥35% F.S.） ±0.35% F.S.（＜35% F.S.）；3、响应时间： ≤0.8sec；4、零点漂移：<0.6%F.S/年；5、流量规格：2sccm-50slm；6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V,0-10V,4-20mA；7、EMC 抗电磁干扰：CE。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
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