质量流量计型号流量计厂家气体配比器气体配比器实验室气体混合器
技术参数:
产品型号:KT
产品类型:智能控制 触摸屏控制
流量量程2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
流量控制方式:触摸屏设定流量
时间设定:0-99999
特点
1、数字化,全金属密封;2、,快响应; 3、极低零漂及温漂; 4、良好的兼容性。
核心技术指标
1、数字模拟信号兼容;2、精度:±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.);3、响应时间: ≤0.8sec;4、零点漂移:<0.6%F.S/年;5、流量规格:2sccm-50slm;6、输入信号: RS232/485 & DeviceNet, 0-5V,0-10V,4-20mA;7、EMC 抗电磁干扰:CE。
应用领域
用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
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