起初广泛使用的厚度测量工具是卡尺、螺旋测微器、测厚表等，但随着科技的进步、社会的发展，常用的测厚方法有射线测厚法、超声波测厚法、光学测厚法、机械测厚法等，虽然厚度检测方法众多，但从综合程度上看，在线测厚系统更多的还是采用激光测厚仪。射线测厚仪也能进行在线检测，并且检测精度更高，但劣势也显而易见，它有辐射，不管将其降到多低，但长期使用终究不好，一般仅用于薄板的高精检测。薄膜测厚仪根据程序预先设定的计算公式，通过组合不同的标样厚度并将其置于射线下测量，以得到一组基准数据，并存于PLC中。
