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河南电子级双氧水厂家

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超净高纯电子级过氧化氢是微电子行业中一种十分重要的高纯试剂,主要用作半导体硅晶片清洗剂,蚀刻剂和光刻胶去除剂,还可用于绝缘层制取,电镀液无机杂质去除,电子行业中铜、铜合金和镓、锗的处理,以及太阳能硅晶片的蚀刻和清洗。在处理过程中,试剂中的杂质会对元器件性能产生致命影响,因此,超净高纯过氧化氢对纯度的要求非常苛刻。
电子级过氧化氢是大规模集成电路生产工艺中所必需的电子化工原料。采用工业过氧化氢产品为原料,经三塔连续树脂吸附工艺生产电子级过氧化氢。该工艺流程简单、操作容易、生产条件温和、、成本低,产品纯度可达到半导体设备与材料国际制订标准SEMIC19-90标准和SEMIC75-93标准的电子级过氧化氢产品,达到国内水平和国际同类技术水平。该树脂不是一般普通的交换树脂,具有抗氧化性,另外通过负压精馏也可以生产出电子级的双氧水,但后者成本较高,能耗较高。
导体用高纯度双氧水是大规模集成电路生产工艺所必需的化工原料,按质量要求由低到高分为MOS级、SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8、SEMI-C12等。其中,较低端的MOS级的产品能够大量生产,但SEMI级别的纯度的生产企业较少,国内生产量也比较少,部分产品依赖国外进口。

随着中国电子电器行业发展,半导体用高纯度双氧水市场需求不断增多,行业生产企业数量不断增加,产品生产规模不断扩大。

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