OTFC-1800具备的光学薄膜形成装置,与此同时,通过搭载离子源,可以实现光学滤光片的量产。OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
机器配置如下:
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM工件架:Ф1400工件架转速:10rpm to 30rpm (可变)光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器蒸发源:2套日本电子24P双枪离子源:23寸光驰RF离子源排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 日本爱发科2401+1200A性能达到压力:7. 0X10-5Pa以下排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)基板温度:高: 350C工作条件电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA水流量:180升/分以上空气压力:0.5MPa以上重量:约11000kg真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架φ1600mm
工件架转速10rpm to 30rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚计XTC/3+6点式石英晶体传感器
蒸发源电子枪2套
离子源23cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+
性能
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间20分(大气压~1.3×10-3 Pa)
基板温度高:350℃
工作条件
设备尺寸约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
电源3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约11200kg
为了更好地服务于广大用户,我司提供售前的技术咨询、设备选型、解决方案,从型号的选型规划中已确保产品的质量性能、供货时间、可上门安装调试及保修费用另计算、保修期外的技术支持、维修维护和技术培训做出如下的规划:
1、保修服务: 机械从调试合格之日起,保修3个月,保修期内产品损坏非人为所致的免费修理.(注:易损件不在保修范围内)
2、调试服务:由供方负责派员去现场调试、培训等内容,经调试合格后由需方出具验收报告.
3、安装服务:供需双方友好协作.供方派技术人员前往安装
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