(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止，不会污染系统;
无油、无声、无振动，改善了工作环境;
极限真空度高，抽速大，抽气时间短。
聚丙烯（PP）真空机特点：
水喷射真空机组、水循环真空机组，体积小，结构紧可移动，噪音低，能耗低，率便于综合利用。水汽串联喷射真空机组，耗气量小可获得更高的真空度，工作稳定，使用方便。
罗茨真空机组广泛应用于需要大抽速和需要获得低、高真空的各种真空系统中，例如：真空冶炼、钢液脱气、大型空间模拟试验中的动态真空的获得，电力电容器，变压器真空浸渍处理，日光灯管，灯泡自动生产线上的排气，保温瓶胆边续排气，真空镀膜设备中的预抽，镁还原过程中的抽气，单晶硅提炼过程中的除气等等。
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