日本Shimadzu岛津TMP-4304LMTC大流量分子泵，Shimadzu镀膜真空设备泵保养，Shimadzu TMP-4304LMTC分子泵进气法兰口VG350，出气法兰口KF40，抽速可达到4400L/s，转速为24000rpm，日本岛津磁悬浮TMP-4304分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M。
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