mems光开关
简述MEMS光开关的工作原理
什么是MEMS？MEMS （Micro-Electro-Mechanical System）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电，以便通过电子技术进行控制。
MEMS光开关可应用于哪些领域
MEMS光开关及其阵列在现有光通信中的应用范围很广。其应用范围主要有：光网络的保护倒换系统，光纤测试中的光源控制、网络性能的实时系统、光器件的测试、构建OXC设备的交换核心，光插/分复用、光学测试、光传感系统等。
光开关是一种多端口光器件，端口配置情况有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光开关又称OXC（光交叉连接开关、矩阵光开关）。基于MEMS技术的1×N端口光开关，其结构如图所示，它包括一个MEMS微镜、一个准直透镜和一个多纤插针。MEMS微镜通常贴装在一个TO管座上，然后通过TO管帽将准直透镜与TO管座组装成一个组件，在有源调试状态下，将多纤插针与前述组件对准并固定在一起。
MEMS光开关可实现对全光网的远程控制，具有可集成化、功耗低、成本低的主要优势。MEMS光开关同时具备了机械式光开关的低插损、低串扰、低偏振敏感性、高消光比和波导开关的高开关速度、小体积、易于大规模集成的优点。各项性能足以满足DWDM全光网络的技术要求，将会是大容量交换光网络开关发展的主流方向。 MEMS器件单批产量高，经济性好，且器件与器件之间重复性好，为降低系统成本提供了更多的可能性。
MEMS光开关是 基 于 微 机 电 系 统（micro-electro-mechanical system），采用光学微镜或光学魏镜阵列来改变光束的传播方向实现光路的切换。MEMS光开关原理十分简单，当进行光交换时，通过静电力或磁电力的驱动，移动或改变MEMS微镜的角度，把输入光切换到光开关的不同输出端以实现光路的切换及通断。
随着光通信网络的快速发展，传统以电为核心的通信器件已经不能满足高速大容量的光通信需求，MEMS光开关由于其体积小，易集成，容量大等特点，已成为全光通信网中的重要器件之一。
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