臭氧对酵母和 寄生生物等也有活性，例如可以用它去除以下类型的微生物和病毒。
①病毒 已经证明臭氧对病毒具有非常强的杀灭性，例如Poloi病毒在 臭氧浓度为0.05-0.45mg/L时， 2min就会失去活性。
②孢囊 在臭氧浓度为0.3mg/L下作用2.4min就被完全除掉。
③孢子 由于孢衣的保护，它比生长态菌的抗臭氧能力高出10-15倍。
④真菌 白色念珠菌（candida albicans）和 青霉属菌（penicillium）能被杀灭。
⑤寄生生物 曼森氏 血吸虫（schistosoma mansoni）在3min后被杀灭。
此外，臭氧还可以氧化、分解水中的污染物，在 水处理中对除嗅味、脱色、杀菌、去除酚、氰、铁、锰和降低 COD、BOD等都具有显著的效果。
高浓度臭氧水采用臭氧制氧机以空气为原料，把空气中21%的氧气提纯到90%以上再通过高频高压电晕法来产生高浓度臭氧再采用臭氧气液混合泵、水气分离器等生成高浓度臭氧消毒水，可广泛应用于食品、电子、化学分析及合成等领域，无任何残留。
高浓度臭氧水使用方法
高浓度臭氧水可广泛应用于乳品、饮料、纯净水、矿泉水、啤酒、水产品、瓜果、肉制品、豆制品等食品生产加工过程中。高浓度臭氧水利用其活性氧的氧化能力，可破坏微生物体内的原生质，从而达到灭菌消毒的目的。用高浓度臭氧水消毒，常用的方法有喷淋、冲洗、喷雾、浸泡、抹擦等。
臭氧水机食品生产加工过程中高浓度臭氧水的作用：
在水产品、水发食品、干果、肉制品等加工过程中，可以用食品级双氧水作为加工助剂进行消毒、保鲜、防腐、漂白等。一般是将高浓度臭氧水一体机接上自来水或纯净水后直接使用，对食品、机械进行杀菌冲洗漂清;无二次污染、无任何残留，符合食品GB2760-2011新标准。
臭氧水机高浓度臭氧水在乳品生产中的应用：
牛奶对细菌很敏感，无菌罐装机器现在多数企业就是通过高浓度臭氧水的灭菌实现牛奶的完全无菌的。因为高浓度臭氧水有着其它消毒剂所没有的特点：常温杀菌，杀菌广谱，杀菌速度快，容易分解且分解的产物是水和氧气，无任何残留，不会对产品、包装盒生产环境造成污染。
浸泡法：用高浓度臭氧气体或臭氧水对包装盒或包装材料进行灭菌，这种灭菌一般在密闭空间内进行。
喷淋法：将高浓度臭氧水均匀喷洒于包装材料表面，然后通过电辐射加热或热空气加热使水份完全蒸发，从而完成灭菌过程。
高浓度臭氧水机主要应用：
1、用于浸泡灭菌各类食品（如海产品、凤爪、燕窝、豆芽等）并具有一定的漂白功能，可部分代替国家禁用的双氧水；
2、用于制药厂的过水管道灭菌、储水罐灭菌消毒；
3、用于制桶装水、瓶装水、反渗水、生产用水。
臭氧灭菌介绍：臭氧灭菌的过程属于生物化学反应，臭氧灭菌有以下三种形式：
1、臭氧氧化分解了细菌内部氧化葡萄糖氧化酶；直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞壁DNA和RNA，分解蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏；
2、渗透细胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解死亡，并且将死亡菌体内的遗传基因，寄生菌种、寄生病毒粒子、噬菌体、枝原体及热原（细菌病毒代谢产物、内毒素）等溶解变性灭亡。
3、臭氧灭菌属于溶菌，是一种灭菌方式中的形式。既然臭氧能杀死病毒、细菌，那么会不会也把健满面的细胞杀死呢？不会，因为健康细胞具有强人的平衡酶系统，因而臭氧对健康细胞无害。
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