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采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高可靠性。
薄膜测厚仪主控制柜是一个自由立式控制台，是个系统的心脏。根据产品型号、控制系统配置不同，P型采用S7-400PLC作为控制计算中心；G型采用工控机为控制计算中心。控制柜负责采集和处理从前置放大器传来的信号，负责测厚仪数据处理和与轧机AGC系统的接口信号输出，为轧机AGC系统提供测厚数据及控制信号。控制柜还提供整个系统稳定的电源和现场显示器的显示数据。
薄膜测厚仪根据程序预先设定的计算公式，通过组合不同的标样厚度并将其置于射线下测量，以得到一组基准数据，并存于PLC中。
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