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扩散泵：以低压蒸汽流（油）扩散泵：以低压蒸汽流（水、油#蒸汽）为工作介质的真空喷射泵。气体分子扩散到蒸汽射流中并被送到出口。射流中气体分子的密度很低，适合在分子流动状态下工作
它可以分为：① 自净扩散泵：泵液中的挥发性杂质通过机械输送至出口，不返回锅炉的油扩散泵；② 分馏扩散泵：该泵带有分馏装置，使低蒸汽压力的工作液体蒸汽进入高真空工作的喷嘴，高蒸汽压力的工作液体蒸汽进入低真空工作的喷嘴。它是一个多级油扩散泵。对应于大抽气量的入口压力。在这种压力下。（4） 扩散喷射泵：由具有扩散泵特性的单级多级喷嘴和具有喷射真空泵特性的单级多级喷嘴串联而成的动量传递泵。机油增压泵属于这种形式。
溅射离子泵：真空泵，泵中的电离气体吸附在阴极连续溅射释放的吸气剂材料上，以达到泵的目的。真空泵可分为三种类型：高真空beng和高真空beng。粗真空系统主要用于抽出空气和其他不溶于水且允许少量固体颗粒的腐蚀性气体。广泛应用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工序。该泵具有真空度高、结构简单、使用方便、运行可靠、维护方便等特点。主要用于粗真空。在大型空气抽取过程中。主要用于抽出空气等无腐蚀性、不溶于水、含有少量固体颗粒的物质，在密闭容器中形成真空。允许吸入气体中混合少量液体。
旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。旋转真空泵又有如下几种形式：① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。按其结构特点分为如下五种形式。
余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。e.多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个#工作室的旋片真空泵。②干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。 通过深入分析了解到决定水环式真空泵性能和结构的参数有:叶轮半径R、叶轮轮毅比v,偏心距e、叶轮叶片数Z、叶轮宽度B、叶片倾角、叶轮沉没在液环中的浸没度h、叶轮转速n、抽气速率和极限压力等。吸、排气口的形状。
罗茨真空泵是一种无内压缩的旋转变量真空泵，又称机械增压泵。它的优点是在低进口压力下具有较高的泵送速率。目前，它是获得中高真空的主要出风设备之一。ZJ系列罗茨泵不能排气，与前级泵串联使用。当泵送系统中的压力被前级真空泵泵送至罗茨真空泵可接受的压力时，它可以开始工作。ZJ系列对萃取气体中的灰尘和水蒸气不敏感。广泛应用于真空铸造、真空熔炼、真空脱气、真空镀膜等行业。化工和制药行业的真空蒸馏和真空干燥。
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