日本光驰扩散泵油OS-15 (1L）包装
扩散泵油对扩散泵性能的影响至关重要。理想的扩散泵 敞泵油 油应饱和蒸气压低化热低、
工作稳定、高温下不分解、不吸收气体、化学性能稳定(与其接触的材料 不起反应)、安全
,但是直至目前,还没有研制出这种理想的工作液。可用做泵液的单质介质,它
具有化学性能稳定、不分解、不溶解气体、汽化 热小、加热功率低等优点,大的缺点是蒸气
压过高,室温下(300K)的饱和蒸 气压高达.5×10-Pa,使用冷阱捕集才能用于高真空、超
高真空。”
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