小型气敏探针台
小型气敏探针台KT-Z4019MRL4T探针台用途： 手动探针台又称探针测试台主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析，抽查测试等用途 探针台系统组成： 探针台台体+显微镜+探针座+探针夹具+探针+测试源表（请注意无测试源表就构成不了系统，探针台只是提供一个测试平台，一切数据的测量都需要依靠测试源表来完成） 探针台测试环境： 可提供的测试环境有：常温、高温、高低温测试、真空高低温、高压、辐射以及磁场环境。
小型气敏探针台KT-Z4019MRL4T参数
真空腔体
类型
高温型室温到350℃
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸
127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
腔体抽气口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体真空测量口
KF16法兰（其余接口规格可转接）
腔体进气口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
样品台
样品台材质
不锈钢 银铜合金 纯银块
银铜合金 纯银块
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm）
样品台测温传感器
PT100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 大值 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
±0.5℃
温度信号输入类型
PT100 （可选K S B型热电偶）
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmX170cmX380cm
温控器重量
约5.6KG
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针（可扩展5探针）
探针材质
镀金钨针 （其他材质可选）
探针尖
10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程
20mm ±10mm（需手动推动滑台）
X轴控制精度
≥500μm
R轴移动行程
120° ±60°（需手动旋转探针杆）
R轴控制精度
≥500μm
Z轴移动行程
2mm ±1mm
Z轴控制精度
≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
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