日本光驰OTFC-13000TFC-1550光学镀膜机-真空镀膜机
日本光驰OTFC-1300 0TFC-1550光学镀膜机-真空镀膜机
厂商 OPTORUN OPTORUN
型号 OTFC1300C OTFC1300DB
序列号 S0019 S0567
电子枪（双电子枪有无） JST-10F-2GUN JST-10F-2GUN
坩埚点数 24点+28点
旋转泵 VS2401
机械升压泵 EH500
扩散泵 冷冻U20Px2台 22’x2台
冷冻机 无 Polycold PFC-670HC
离子枪（射频离子源） 有 无
光学检测有无（光控/精控） 有 有
基板加热heater有无 有 有
回转 中心回转 中心回转
配置表：OTFC-1550光驰镀膜机(年份: 2016. 11)
日本电子16F双枪，23寸光驰RF离子源
275机械泵+爱德华配套罗茨泵
HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪
XTC/3+6点式水晶传感器 在线使用中的设备 此设备保养好 日本 含安装调试教工艺。
销售设备清单
序号 设备名称 规格型号 品牌
1 双面抛光机 6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B 日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌
2 真空蒸发镀膜机 LP1650/1800/2350/1104 光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合
3 自动移载机 PH802
4 自动移载机 PH802
5 8寸贴膜机 UTAS208A
6 下摆机 光进/时代
7 推拉机 永田
8 铣磨机 勇益
9 仿形机 120/150/170/200/250 中航
10 异形开料机 1240 精一
11 金相显微镜 XJX-6 奥林巴斯
12 金相显微镜 MA-2002 奥林巴斯
13 干涉仪 100 ZYGO
14 奥林巴斯体视显微镜 SZ51
15 紫外分光光度计 1700/1750/1800/2401/2450/2550 日本岛津
16 光谱仪 4100 日本日立
17 红外光度计 21 傅利叶
18 超声波洗净机 科伟达/三和
19 二次元影像测量仪 2010/3020/4030
20 全自动脱泡机 1200/1350/1550 鑫力/诺峰/深科达
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