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日本fuji机单组分密度计FUD-1 Model-13
该型号在保持 FUD-1 Model-13 的可维护性和在线测量等优点的同时,还配备了用于半导体制造过程的小型单元发射器。
FUD-1 Model-13 * 以下是配置示例。
可实时测量浓度,易于构建浓度控制系统。
标配模拟 DC4-20mA 和数字 RS232C
标配测量误差输出和报警输出
标配自诊断功能和错误信息显示
小巧轻便的单元式变送器可直接安装在线路上
由于使用 PFA 的接液部件的质量和小输出设计,对化学溶液没有影响。
可进行连续测量
免维护,无需定期调整和校准
安装方便,无需在安装过程中进行各种调整
通过实时输出轻松反馈到过程
CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等。
控制稀释过程中各种化学品的浓度(H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl 等)
清洗过程中的清洗液浓度控制(HF、NH4OH、KOH、IPA等)
蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制(HF、H2SO4等)
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