UV光解：当紫外线光子能量大于有机或无机高分子恶臭化合物分子化学键能时，会发生光解反应，致使其化学键断开。同时，当紫外线波长在200nm以下时，O2分子会被分解生成活性O;活性O与O2结合生成O3。UV光氧催化：催化剂(如TiO2)受紫外线光子激发后产生导带电子和价带空穴。
早在公元前，中国已会用酒曲（生物酶催化剂）造酒。18世纪中叶，铅室法制硫酸中用一氧化氮作催化剂是工业上采用催化剂的开始。催化这个词是1835年J.J.贝采利乌斯引用到化学学科中来的。1902年W.奥斯特瓦尔德将催化定义为：“加速化学反应而不影响化学平衡的作用。”1910年实现合成氨的大规模生产，是催化工艺发展史上的里程碑。20世纪以来，催化工艺迅速发展，例如，20年代研究成功用钴催化剂由一氧化碳和氢合成液体燃料的费-托法；1955年研究成功齐格勒-纳塔催化剂，用于烯烃定向聚合；现代化学工业和炼油工业的生产过程，已有80％以上使用了催化方法。
UV光氧催化废气处理设备不可以用于净化易燃、易爆或腐蚀性的气体；经处理后的废气须排到室外；内置光管紫外线光束对人的眼睛和皮肤有伤害，请谨慎小心使用；
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