PLASMA半导体_可光刻胶灰化/残胶去除
PLASMA半导体_可光刻胶灰化/残胶去除
半导体_PLASMA等离子体去胶机概要：
该设备是适用于硅基半导体及化合物半导体前后道的等离子体去胶设备，可用于光刻胶灰化/残胶去除和表面处理，该系列有两种配置分别兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圆。设计紧凑占地面积小，设备稳定可靠、易于维护、产能高。
等离子体去胶机特点：
兼容晶圆尺寸为：4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ”
支持2 个开放式晶圆匣或SMIF
3 轴机械手
2种可选等离子体源：
· RPS (400KHz Toroidal远程等离子体源 )
· 电感耦合等离子体源 (13.56MHz)
高密度等离子体，去胶速率快
的均匀性和重复性
占地面积小
耗材成本（COC）和使用成本（COO)低
人性化的人机交互操作系统
工业计算机Windows
*需要详细参数资料，请联系我们
了解更多半导体：
PLASMA半导体_等离子体去胶机相关产品：
衡鹏供应
PLASMA桌面型多功能等离子设备
PLASMA一体式等离子处理系统
PLASMA等离子体纳米涂层设备
PLASMA全自动等离子处理系统
上海衡鹏能源科技有限公司提供PLASMA半导体_可光刻胶灰化/残胶去除,包括PLASMA半导体,等离子体去胶机的详细产品价格、产品图片等产品介绍信息。
