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应用领域,半导体工艺过程的气体传输系统和使用设备,包括:气体分配系统,化学变化传输系统,设备维护
不锈钢结构 ,密封式重力测量传感器,4~20mA模拟输出±0.1%精度,省力的低平台
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GSC300气柜秤为半导体工业特种气体计量应用主要包括:硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷,三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷,氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷二氧化碳、氨、氧化亚氮,六氟化钨、基镓等。
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