| ￥110000 |
仪器主要技术参数及产品特点：
型 号
SMU-4040HA
X/Y/Z测量行程
400╳400╳200mm
Z轴行程
调焦行程200mm(可根据客户要求定制加高)
XY轴基座
00级济南青大理石
仪器底座
00级济南青大理石
玻璃台面尺寸
480╳480mm
玻璃台承重
30kg
传动型式
Hiwin P级精密线性导轨
Hiwin C5级研磨滚珠丝杆
NSK原装进口轴承
(可选配手持式移动摇杆操作)
金属贴片光学尺
X/Y轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）
Z轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）
X/Y线性测量精度(μm)
≤2.8+L/200
机台定位精度(μm)
≤2.8
重复精度(μm)
≤2.8
电机
HCFA双闭环CNC伺服系统
X/Y轴采用HCFA400W伺服电机，双重闭环控制系统
Z轴采用HCFA(带刹车)100W伺服电机，双重闭环控制系统
摄像机
Hikvision 1/3”超清彩色工业数字相机
测量软件
自主研发全自动影像软件
（测量数据可按客户报表格式导出或导入MES、QMS系统）
镜头
全自动变倍镜头(可选配同轴光、探针、镭射头、激光定位导航)
光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率30-300X
放大倍率为近似值，与显示器的尺寸及分辨率相关，
可通过选配0.5X/2X物镜，实现放大倍率15-150X/60-600X
光源系统
表面光源：5环8区LED冷光源，255级立调节
轮廓光源：LED绿色冷光源，255级立调节
仪器外形尺寸（L*W*H）
1230╳820╳1850mm
仪器重量（kg）
400kg（机台高速运行时的稳定性）
电源
AC220V/50HZ AC110V/60HZ
电脑
intel I5主机
显示器
27寸
质保
整机质保1年
影像视频卡
intel千兆网卡
电源开关
台湾铭纬 MW 12V-24V，漏电、短路保护
电源滤波器
X、Y、Z共3组立滤波器（抗电流干扰）
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