自动撕膜/手动晶圆贴膜STK-7150
自动撕膜/手动晶圆贴膜STK-7150
半自动晶圆切割膜贴膜机STK-7150特点：
自动滚轴贴膜技术；
手动放置和取出晶圆/承载环；
自动胶膜进给和贴膜；
自动收隔离纸，适用于UV膜和非UV膜；
自动圆形切刀切割膜；
自动撕膜，自动收废膜 (选项)；
晶圆台盘温度可编程控制，MAX可达120℃；
标准8”、12”晶圆台盘用于8”、12”晶圆，可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘；
PLC控制，带7”触摸屏；
配置光帘保护功能，和紧急停机按钮；
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控；
晶圆切割膜贴膜机性能：
晶圆收益：≥99.9%；
贴膜质量：没有气泡（不包括灰尘颗粒气泡）；
每小时产能：≥70片晶圆；
MTBF：>500小时；
MTTR：<1小时；
停机时间：<3%；
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