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日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
高过滤精度在超微LSI制造工艺中，要求将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说，管道系统的超净化亦是一大。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器，从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。
蚀刻和薄膜形成时必不可缺的高选择性在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，必不可缺的，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。
零维护实现成本削减能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失，并可长期持续地削减成本。
日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列
规格
过滤精度0.003μm（但是，纯水过滤时は0.1μm）推荐流量10～200ℓ/min（各型号区别：参考流量特性曲线)设计压力17MPa (2,465PSIG) at20℃本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高ya气体保安法，高使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。常用压力1MPa(145PSIG)未满大容许差压9.6MPa (1,392PSIG) at20℃高连续使用温度120℃烘烤温度200℃外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec以下构成材料外罩：SUS316L 内表面粗糙度：Rmax0.7μm以下 元素：氧化铝陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE连接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它
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