HORIBA堀场浓度监测仪HF-960M
HORIBA堀场浓度监测仪HF-960M
低浓度HF/HCl/NH3浓度モニタ <HF-960M>
概要
ワンバス洗浄・枚叶洗浄に适
低浓度のフッ酸・塩酸・アンモニアをに测定
半导体洗浄プロセスではデバイスの进化・微细化に伴い、RCA洗浄の薬液も低浓度でのコントロールが要求されています。
HF-960Mは耐食性に优れたセンサを採用し、低浓度のフッ酸、塩酸、アンモニアをそれぞれ高速に测定しますので、ワンバス洗浄や枚叶洗浄にも适な制品です。
特长
HF浓度、HCl浓度、NH3浓度、导电率、温度の5种类を测定
アナログ出力を浓度测定范囲で任意设定可能
接点出力点数7点装备
3系统の伝送出力を搭载
仕様
制品名
低浓度HF/HCl/NH3浓度モニタ
型名
HF-960M
周囲温度
−5〜45℃
相対湿度
20〜85％（结露しないこと）
保存温度
−25〜65℃
电源
定格电圧 24V DC 10W（max）
外形寸法
96（W）×96（H）×115（D） ケース奥行：约105mm（パネルマウント时）
质量
约550g
适合规格
CEマーキング、FCC Part15
北京朗科斯拓科技有限公司提供HORIBA堀场浓度监测仪HF-960M,包括浓度监测仪的详细产品价格、产品图片等产品介绍信息。
