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日本富士工业fuji在线式单组分密度计FUD-1 Model-13
该模型在保持FUD-1 Model-13的优势(如可维护性和在线测量)的同时,还具有用于半导体制造过程的小型单元型振荡器。
可以进行实时浓度测量,并且可以轻松构建浓度管理系统。
配备模拟DC 4-20mA和数字RS232C作为标准配置
标配测量误差输出和报警输出
配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
紧凑轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
由于润湿材料的质量以及采用PFA的小产量设计,因此对化学药品没有影响。
可以连续测量
免维护,无需定期调整/校准
易于安装,因为在安装过程中无需进行任何调整
通过实时输出轻松反馈到过程
CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制
稀释过程中各种化学浓度的管理(H2O2,TMAH,HNO3,H2SO4,HCl等)
清洁过程中的清洁液浓度控制(HF,NH4OH,KOH,IPA等)
控制蚀刻过程中的蚀刻液浓度(HF,H2SO4等)
格式FUD-1模型13测量参数超声波传播速度/温度显示LCD(密度,温度,声速/各种参数)输出信号模拟DC 4-20mA(可自由设定浓度值)
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