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丹麦NILT代理纳米压印机EZI-UV紫外压印机真空压印

2018-12-14 编号:246630927
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  • 纳米压印机,丹麦NILT,EZI-UV,NILT纳米压印机
  • 刘先生
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产品详情

产品名EZI-UV,丹麦NILT,纳米压印机,NILT纳米压印机
面向地区广东深圳龙岗
品牌NILT
材质铝合金
工作温度低温
类型纳米压印机
丹麦NILT代理纳米压印机EZI-UV紫外压印机真空压印 标题:纳米压印机,纳米压印模板,微加工掩膜
SEO标题:CNI 系列纳米压印机,EZI-UV NIL纳米压印仪器,NILT纳米压印


240℃热压印,365nm紫外压印,1mbar真空压印,NILT纳米压印机
型号:CNI V2.1,EZI-UV NIL

丹麦NILT公司是一家制造纳米压印机,生产纳米压印模板、掩膜而著称的高科技公司。其中,NILT的旗舰产品CNI系列纳米压印机具有热压印(温度达240℃)和 紫外压印(365nm)两种功能 ,其人性化的设计使得整个纳米压印的过程十分简单、灵活且便利。而另一款EZI-UV NIL纳米压印仪器具有高度,全晶圆压印的特点,可处理10nm尺寸内的图形,且具有99%的良品率。


NILT纳米压印机主要应用:
压印易碎的材料、在硅片上制作纳米级光栅
制作压印模板、掩膜
热压高深宽比结构图形
微结构加工

CNI系列纳米压印(UV & 热压), 纤细轻巧的纳米压印机
CNI V2.1 是一款专为实验室开发的即插即用,纤细轻巧的纳米压印工具,其能低成本且地实现的纳米热压工艺。它兼具热压印和紫外压印两种功能,而且可以快速的实现真空环境下的压印。这个系统可以方便的根据不同需要进行配置,闲置时也易于收藏。
它可以处理各种不同形状、格式以及直达100mm(4英寸)的模板和基片。该系统只需要手动装入和取出模板和基片,其余的操作都是自动化进行,同时附带软件还提供了详细的参数设置,让客户对压印过程实行全名的操控。

特点:
热压印(温度达240℃)和 紫外压印(365nm)两种功能
真空压印(1mbar)
即插即用,纤细轻巧,实验设计、记录、分析的好帮手

EZI-UV NIL纳米压印机
EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600
EZImprinting是一款具有良品产率(> 99%),带有一步自动脱模制式(ONE-STEP AUTO RELEASE)特色的纳米压印光刻平台,可运作和处理的10纳米以内的图形。

特点:
可处理10nm尺寸内的图形,99%的良品率
全晶圆压印,6英寸(NTP-600) ,4英寸(NTP-400),
一步自动脱模(ONE STEP AUTO-RELEASE)专利,避免基板和模板损伤
PLC可编程式软件和触控界面
可配合软硬模板 ,适合不同大小基板和模板

NILT CT100 - 脱模处理设备(Release Agent Treatment Tool)
为了达到的压印效果,模具表面的低能量,以确保模具容易从压印抗蚀剂中脱离。 CT100脱模处理设备是一种易于使用的全自动工具,可在15分钟内对模具进行防粘涂层。

NILT PC100 - 等离子清洁设备(Plasma cleaning tool)
PC100等离子清洁设备是一款具有下游等离子体的批量清洁工具(晶片垂直放置在腔室内)。 下游等离子体不会攻击任何有机材料,包括晶片表面上的金属。 该工具可配备3 nm滤光片,以确保清洁后晶圆上的颗粒污染极低。

NIL仿真软件
NILT提供了Simprint仿真软件,节省宝贵的时间来优化压印参数,

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