爱德华ixh3030T干式真空泵维修
爱德华ixh3030T干式真空泵维修
iXH系列干泵产品是Edwards的市场iH产品的换代升级，为严苛制程能力树立了新标准，它在世界上
的许多300mm半导体和平板工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。
可满足FPD、太阳能、半导体和LED制造业中日益提高的气体流量要求的大容量干泵和增压泵系
列。除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性以确保在严苛制程中具有大可靠性。
iXH泵采用模块化设计，符合当今的制程要求，并且对于工厂中不断涌现的应用挑战有着路线明确的
应对计划。
主要特性和优势
针对的EPI和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。
符合主要的国际标准，包括UL、CE和S2。可以始终如一地使用或省略不用。
应用
半导体的目标应用包括：
PECVD 高K 低K SACVD LPCVD ALD EPI
FPD的目标应用包括：
PECVD TCO 刻蚀
东莞比其尔真空机电设备有限公司
维修泵：质保6个月，需要维修的真空泵，如果客户方没有真空泵暂用，我司可以提前寄出备用泵给客户
方，以不会影响正常的生产，待真空泵维修好，经检测试用合格后，再把备用泵退回我司。
保修：保修期内因产品本身因素造成的不良，免费保修，因人为或环境、自然灾害造成的不良不承担保
修，但可以计费维修。
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EDWARDS爱德华IXH3030T真空泵维修/干式泵维护
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