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综述：
材料在微纳米尺度物理缺陷和化学成分差异将对宏观性能产生重大影响，材料科技工作者需要从微纳米尺度掌握材料物理缺陷形成、成分差异演变、晶体结构组成的一般规律。针对这样的课题，使用扫描电镜（SEM）平台配套EDS/WDS/EBSD观察分析是当前科学的解决方案。
EDS作为SEM常用的分析附件，使用Si半导体晶体对元素特征X射线展谱，自1970年代商品化以来，技术性能不断进步，当前技术，可在分秒间对微纳米尺度成分差异做出准确判断。分析报告包括材料微观图像和不同微观区域化学成分，全元素构成，元素百分比以及测量方差。
WDS作为早配合电子束探测材料微区元素组成的X射线分光仪器，特征X射线能量分辨率5-10电子伏，对微量成分定性定量精度比EDS提高一个数量级，目前在半导体，电子材料，地质矿物和特殊合金研究中广泛使用，但波谱分析逐个元素进行定量，比较耗时，对电子束束流稳定性提出更高要求。
EBSD，采用高能背散射电子，对样品剖面做晶体衍射，从而获得微区晶体结构，取向，分布定性定量结果。在金属、陶瓷和地质学分析显微结构及织构中使用越来越广泛。
驰奔仪器系列钨灯丝扫描电子显微分析平台
驰奔仪器二代钨丝枪系列扫描电镜，是当代扫描电子显微平台。除良好电子显微成像品质以外，针对电子显微分析需求，优化设计样品室和样品台，实现优良分析效果。 
扫描电子显微分析装置（EDS/WDS/EBSD）
1、 简易能谱EDS：
无需培训即可使用的产品。
Cube台式电镜。
2、 能谱EDS：
探测器具有伸缩机制;
可优化探测器采集效率，经过培训，可获得精良测试结果;
一般使用和简易EDS一样简单方便;
Genesis和Veritas主要配置该类型EDS。
3、 波谱仪WDS：
一般是扫描电子探针标配，不同于能谱仪同时展谱方式，而是一个谱峰接着一个谱峰进行信号收集展谱，全元素谱采集需要逐个更换多个衍射晶体，因此扫描探针一般装备四道不同波段波谱探测器同时采集，提高了采集速度。而扫描电镜一般只能设计一道波谱的安装空间。
波谱具有的谱峰能量分辨率，更高峰背比，元素定量精度和灵敏度比能谱高1~2个数量级。
Genesis-II中型扫描电镜，和Veritas大型扫描电镜，可支持安装波谱。
4、 电子背散射衍射装置EBSD：
对材料中的相鉴定，晶体取向分布进行研究的装置。
晶格散射入射电子，其中背散射电子大部分保持良好相干性（波长相近），形成衍射花样照射在荧光屏上，荧光屏后的高速数字相机及时抓取获得数字化衍射花样图像，经过对花样分析获得该处像素的晶体结构和取向数据。
一副电镜图像的所有像素，逐个采集花样，形成面分布。需要相当长采集时间。
Genesis-II中型扫描电镜和Veritas大型扫描电镜，可支持安装EBSD.
5、EDS/WDS/EBSD 一体化操作软件
形貌成分和晶体结构原位分析，可同时进行。
北京驰奔科技有限公司提供驰奔电镜电子显微分析装置（牛津仪器）,包括微区晶体结构,扫描电子探针,EBSD装置,EDS/WDS的详细产品价格、产品图片等产品介绍信息。
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