日本ORCUV-MO3A计测器械紫外线发光强度计
【详细说明】
日本ORC UV-MO3A计测器械紫外线发光强度计
◆ 特 徴
?? 露光装置の照度と光量の管理が手軽にできる小型??軽量のハンディタイプです。
?? 紫外线照度と光量が手軽に测定できます。
?? 受光器は、ご使用されている（ご使用予定の）光源とレジスト等の感度にあわせてＵＶ－２５，３５，４２用をご选択いただきます。ただし电子回路（プリント）基板の制造工程でお使いの场合にはＵＶ－ＳＮ２５，ＵＶ－ＳＮ３５，ＵＶ－ＳＮ４２を、半导体、液晶用基板の制造工程でお使いの场合にはＵＶ－ＳＤ２５，ＵＶ－ＳＤ３５，ＵＶ－ＳＤ４２をご选択されるように推奨します
?? 测定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。
?? アナログ出力も备えています。
◆ ＳＤ型とＳＮ型について
ＳＮ型は古くから当社制の露光装置や照射装置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を确保しています。
ＳＤ型は半导体や液晶用基板の制造プロセスの现场で、すでに他社制の照度计をお使いのお客様が、それらの计测器とのデータの互换性确保を重视される场合（当社制の露光装置でも投影型露光装置や液晶基板用の周辺露光装置にはＳＤ型が採用されています）や、全く新规に照度计などをお使いになられるお客様に推奨しています。
◆ ＳＤ型とＳＮ型の指示値について
SN型は古くからのプロセスデータの互换性を确保するようにSD型の指示値（当社计测グループで校正用の放射源として使用している高圧ＵＶランプの365nmの辉线を同一の测定条件で测定した时に示される照度の値： mＷ/ｃｍ２ 表示）に対して３９％高く表示するように调整されています。
◆ 他社制照度计とのデータ互换性について
可视光用の照度计（家庭??事务所??店舗??美术馆などの明るさをＬＵＸ単位で测る照度计）と违い、紫外线用の照度计の全てに适用される规格は未だ整えられていません（ごく一部の限定された用途でＪＩＳ化の作业は行われているようです）。
各社の相対分光感度は、３６５nmの辉线を主体とした光源による照度を测定する目的で作られていても、测定のピーク波长（相対分光感度特性が１で示されている波长）を初めとして、短波长侧（３００nm～３１０nm前后）と长波长侧（３８０nm～４００nm前后）の立ち上り、立ち下ろしの波长とその前后の曲线が少しずつ异なっています。
またＣＯＳθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲线に近づけようと、设计面で努力されていますが、中々実现されていないのが现実です。
◆ 仕 様
受光器（交换式） UV-SD35 (UV-SN35)
测定波长领域 310～385nm
测定照度范囲 0.001～50mW/cm2
测定光量范囲 0.001～19999mJ/cm2
合わせ込み精度 当社UV标准器に対して±1.5％以内
缲り返し精度 ±1.5％以内
◆ UV计测器 受光器 分光感度特性
详细说明
Sensible Wavelength
* UV-25, 241 ~ 271 nm (peak 254 nm)
* UV-35, 320 ~ 390 nm (peak 350 nm)
* UV-42, 330 ~ 490 nm (peak 420 nm)
Sensible Intensity
* 0 - 50 mW/cm²
* 1.0, 10, 50, 3 ranges
Sensing Element: Photo diode
Sample Rate: Approximately 2 times / sec
Sample Time: 100m sec
Sensor Dimensions: 35 (W) x 55 (D) x 18 (H) mm
UV-M03A包含一套UV25或者UV35或者UV42的传感器。UV-M02是 UV-M03A之前的型号名称，现在已经没有了。
标准配件如下：
1：主机UV-M03A 一台
2：感光器 UV-SN35-M10 一个
3：感应器连接线1.5M 一条
4:记录器输出电线1.5M 一条
5:电池UM-3 2个
6:AC接合器JJ-3233 一个
7:Handy Wiper 1张
8:箱子 一个
9:说明书一本
10:ORC校正表一张
11:ORC检测成绩书一张
选配件:
1:感光器UV-SN25-M10 一个 UV-SN42-M10 一个
2:减光片UV-FL10-M10 (1/10)一个 UV-FL2-M10(1/20)一个 UV-FL5-M10(1/50)
3:感光器电线3M 5M.
4:RS232接口电线1.5M
5:国际认证证书.
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