供应FitTech裸晶测试仪整合型LED晶粒/晶圆点测机APT6000
设备名称：整合型LED晶粒/晶圆点测机 裸晶测试仪
型号：APT 6000
标准配备
1.机构部分：
X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)
Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）
XYZ 调整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用
掀开式遮光罩
电控箱
分光卡：350nm-1050nm
选配部分：
清针模块 (毛刷 & 贴片 & 吹气)
毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数
ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV
Relay 寿命：6个月或2亿次(以先到为主)
2.测试机部份
电源供应器：SF
Tester基本架构图如下：APT6000
3.IPC 部 分
中央处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz
存储器：4G
硬盘：500G
17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘
作业系统 : Win 7
General Spec.
Item Description Specification
Working Area For 2~7.8 inches 198mm
Chuck Planariztion ±0.01 mm
X axis Max. travel stroke 200 mm
Resolution 0.5 μm
Accuracy < 10 μm over 100 mm
Y axis Max. travel stroke 300 mm
Resolution 0.5 μm
Accuracy < 10 μm over 100 mm
Z axis Max. travel stroke 8 mm
Resolution 1.2 μm
Accuracy < 5 μm over 30 mm
θ axis Rotation range ± 30°
Resolution 0.0018°
Accuracy < 10 μm over 160 mm
Machine Vision Camera CCD
Illumination Remote control
Focus Manual adjustment
Alignment Auto alignment
CCD Resolution 1280*960 pixels
Magnification of Lens 1x
Field of View 6.4mm × 4.8 mm
Test Spec.
Source Meter : SF
厂务需求
Item Unit Specification
Machine Size W × D × H mm 930x900x1670
Machine Weight Kg 600
Power source V 110
Power current A 13
Air pressure Kgf/cm² 5
Air flow rate NL/min 5
Air tube Diameter mm ψ10
Vacuum pressure mmHg -660
Vacuum flow rate NL/min 40
Vacuum tube Diameter mm ψ6
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