日本okk全自动紫外线照射器FBUV系列技术
通过一键式设置变更转盘，即使是不同尺寸的工作也能均匀照射！
概述
黑光规格的全自动紫外线照射器是
一种自动取出暗盒提供的晶片框架，用紫外线照射并存储它的设备。切块后，施加紫外线使其更容易拾取，从而降低了胶带的粘合强度。
通过自动更改设置支持8英寸和12英寸晶圆框架。
特征
每个暗盒都可以全自动照射。
旋转式转盘可实现均匀且均匀的紫外线照射。
各种紫外线照射条件（时间设置或集成的光强度设置）
紫外线照度实时显示在触摸屏上。
由于采用了黑光规格，因此功耗低。
兼容8英寸/ 12英寸录像带。（可以通过触摸面板自动更改设置）
尺寸 | 宽770 x深1090 x高1200（毫米） |
重量 | 约250公斤 |
驱动空气 | 0.4-0.5Mpa 65L /分钟 |
紫外线照度 | 9mW /cm²或更高 |
N 2 | 0.4-0.5Mpa 100L /分钟 |
电源 | AC100V 50 / 60Hz 30A |