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机械式测厚仪是一种接触式测厚设备，多采用传感器，因为它的测试只和微小位移有关，所以对试样没有选择性。机械式测厚仪的测试精度主要取决于位移传感器的精度，环境温度和风速会影响传感器的精度，因此在实验室环境内使用。
具体地说,比如用不同的装置测定食盐(氯化钠=NaCl)时,从萤光X射线装置得到的信息为此物质由钠(Na)和氯(Cl)构成,而从X射线衍射装置得到的信息为此物质由氯化钠(NaCl)的结晶构成。单纯地看也许会认为能知道结晶状态的X射线衍射装置(XRD为好,但当测定含多种化合物的物质时只用衍射装置(XRD)就很难判定,先用萤光X射线装置(XRF)得到元素信息后才能进行定性 。
X射线的能量穿过金属镀层的同时，金属元素其电子会反射其稳定的能量波谱。通过这样的原理，我们设计出：膜厚测试仪也可称为膜厚测量仪，又称金属涂镀层厚度测量仪，其不同之处为其即是薄膜厚度测试仪，也是薄膜表层金属元素分析仪，因响应环保工艺准则，故市场上普遍使用的都是无损薄膜X射线荧光镀层测厚仪。
X射线和紫外线与红外线一样是一种电磁波。可视光线的波长为0.000001 m （1μm）左右。
对某物质进行X射线照射时,可以观测到主要以下3种X射线。
（1） 萤光X射线
（2） 散乱X射线
（3） 透过X射线
的产品是利用萤光X射线得到物质中的元素信息(组成和镀层厚度)的萤光X射线法原理。和萤光X射线分析装置一样被使用的X射线衍射装置是利用散乱X射线得到物质的结晶信息(构造)。而透过X射线多用于拍摄医学透视照片。另外也用于机场的货物检查。象这样根据想得到的物质信息而定X射线的种类 。
ASA膜测厚仪这类仪表中有利用α射线、β射线、γ射线穿透特性的放射性厚度计；有利用超声波频率变化的超声波厚度计；有利用涡流原理的电涡流厚度计；还有利用机械接触式测量原理的测厚仪等。
用于测定材料本身厚度或材料表面覆盖层厚度的仪器。有些构件在制造和检修时测量其厚度，以便了解材料的厚薄规格，各点均匀度和材料腐蚀、磨损程度；有时则要测定材料表面的覆盖层厚度，以产品质量和生产安全。根据测定原理的不同，常用测厚仪有超声、磁性、涡流、同位素等四种。
超声波测厚仪超声波在各种介质中的声速是不同的，但在同一介质中声速是一常数。超声波在介质中传播遇到二种介质时会被反射，测量超声波脉冲从发射至接收的间隔时间，即可将这间隔时间换算成厚度。在电力工业中应用广的就是这类测厚仪。常用于测定锅炉锅筒、受热面管子、管道等的厚度，也用于校核工件结构尺寸等。这类测厚仪多是携带式的，体积与小型半导体收音机相近，厚度值的显示多是数字式的。对于钢材，大测定厚度达2000 mm左右，精度在±0.01～±0.1 mm之间。
磁性测厚仪在测定各种导磁材料的磁阻时，测定值会因其表面非导磁覆盖层厚度的不同而发生变化。利用这种变化即可测知覆盖层厚度值。常用于测定铁磁金属表面上的喷铝层、塑料层、电镀层、磷化层、油漆层等的厚度。
ASA膜测厚仪水分子的O-H键在几个特定的波长吸收近红外线辐射。SIMV薄膜红外在线测厚仪内旋转的滤光盘上三个滤光片产生这些吸收波长和不吸收波长，交替地从产品表面反射到内部光学组件，由光信号转换成的电子脉冲经过一个比率算法计算出正比例的水分含量，这个含量再经偏置和跨度的校正变成直接的水分含量。特别设计的滤光反射信号算法，消除了光学部件老化和不同的物料反射特性引起的偏差。
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