产品名半导体注入VARIAN维修,DOSE控制器维修,CONTROLLER维修,高压电源
面向地区全国
品牌VARIAN
产地美国
适用工件平面
自动化程度全自动
打印方向双向打印
半导体注入VARIANDOSECONTROLLER维修
半导体注入VARIAN DOSE CONTROLLER维修
上海帝越电子科技有限公司主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。维修电源!
公司配备维修、检测和负载测试工具,有多年的丰富维修经验,服务具体如下:
服务机台
刻蚀(ET):LAM 9400、9600
AMAT CENTURA II&I
AMAT SEMVision G2
离子注入(DF):VARIAN
EATON(axcelis)
NISSIN
AMAT PI9500 9200
光刻(PH):NIKON NSR
ASML 5500
太阳能光伏PECVD:centrotherm(管式镀膜)Roth&Rau(平板式镀膜德国)
服务品牌
AE(Advanced Energy)、ENI(MKS)、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源,HiTek power,Glassman、Spellman高压电源,Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH LAMP、ESC HV PSU
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